Objetivo de pulverización catódica de rutenio (Ru)

El blanco de pulverización catódica de rutenio es un blanco gris compuesto de rutenio de alta pureza. El rutenio es un elemento químico con el símbolo Ru y número atómico 44. Es un metal de transición poco común que pertenece al grupo del platino de la tabla periódica. Al igual que los demás metales del grupo del platino, el rutenio es inerte a la mayoría de las demás sustancias químicas. El rutenio se encuentra generalmente como un componente menor de los minerales de platino; la mayoría de los productos de rutenio se utilizan en contactos eléctricos resistentes al desgaste y resistencias de película gruesa.

Los blancos de pulverización catódica de rutenio se utilizan para depositar películas delgadas de rutenio, que es una película intermedia importante en la estructura de películas multicapa de grabación magnética perpendicular. En el medio de grabación magnética, desempeña principalmente un papel en la reducción de la tensión de desajuste de red entre las capas superior e inferior, lo que aumenta la estabilidad térmica y reduce el ruido.

Como película funcional, las películas delgadas de rutenio y de aleación de rutenio se utilizan ampliamente en las industrias de almacenamiento de grabación magnética y de semiconductores.

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