Ti objetivo de pulverización puro Ti
En comparación con otros objetivos, los objetivos metálicos están en una mayor demanda del mercado que los objetivos cerámicos, su rendimiento es mayor y la vida útil es más larga. Para el objetivo de pulverización, cuanto mayor sea la pureza química del metal, mejor será la conductividad y la resistencia al desgaste de la película hecha de ella.
El objetivo de pulverización de Ti puro tiene alta pureza, buena superficie esmalte, buena conductividad eléctrica y térmica, buena resistencia al impacto, buen desgaste y resistencia a la corrosión, alta resistencia a la tracción, buena ductilidad.
Aplicación de Ti Puttering Target de Ti Ti
1. Materiales de recubrimiento decorativos
2. Materiales de implantes biológicos
3. Material de Getter: el titanio tiene una fuerte capacidad de adsorción para gases activos, y puede usarse en sistemas de bombas de vacío ultra altas y bombas de iones de pulverización
4. Materiales de información electrónica de alta tecnología: el consumo de titanio de alta pureza para circuitos integrados y pantallas de paneles planos ha aumentado
Especificación del objetivo de pulverización pura Ti
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Calificación |
Grado 1, Grado 2 |
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Técnica |
Sinterización, forjado, recocido, rodadura, derretimiento de vacío, mecanizado |
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Pureza |
99.9%-99.995% |
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Diámetro |
<350mm |
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Espesor |
1-100 mm |
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Tamaño para la barra |
Rectangle (Length 1800mm, Width 400mm Thickness>1 mm) |
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Tamaño para tubo |
Tubo (objetivo roty, OD: 20 mm -160 mm, espesor: 2-20 mm) |
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Densidad |
4.5g\/cm3 |
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Superficie |
Pulido, brillante, limpieza química, óxido negro, etc. |
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Forma |
Disco, placa, rectangular, cuadrado, objetivos de columna, |
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Estándar |
ASTM B385, GB, JIS |
Imagen de Pure Ti Sputtering Target

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