Descripción de productos
Proporcionamos componentes de molibdeno y tungsteno mecanizados con precisión y alta calidad para equipos de procesamiento utilizados en la fabricación de semiconductores, incluidos implantación de iones, MOCVD, CVD y PVD.
Nuestros productos principales incluyen cátodo, cámara de arco, repelente, placa lateral/extremo y sujetador en la fuente de iones del implantador Axcelis y Varian trabajados en el procesamiento de producción de obleas de 12" y 16".
El material de tungsteno para implantadores de iones se utiliza principalmente para preparar partes de la fuente de iones del implantador de iones. Es un material de tungsteno hecho de polvo de metal de tungsteno de alta pureza como materia prima, que se fabrica mediante pulvimetalurgia y luego se lamina o forja. Tiene las ventajas de alta densidad, alta dureza, presión de vapor extremadamente baja y excelente resistencia a altas temperaturas.
Especificación
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Número de modelo |
Repuestos para implantación de iones de tungsteno |
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Forma |
Personalizado |
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Material |
Molibdeno, tungsteno |
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Composición química |
Miércoles, Lunes |
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Nombre del producto |
Repuestos para implantación de iones de tungsteno |
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Material |
Tungsteno/aleación de tungsteno |
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Pureza |
99,95 % mínimo |
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Forma |
Hecho según dibujos |
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Solicitud |
implantación de iones |
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Densidad |
10,2 g/cm3,19,2 g/cm3 |
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Superficie |
pulido |
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Certificado |
ISO 9001 y ISO 14001 |
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Otro nombre |
parte de molibdeno |
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