Repuestos para implantes de iones de tungsteno
Repuestos para implantes de iones de tungsteno

Repuestos para implantes de iones de tungsteno

Proporcionamos componentes de molibdeno y tungsteno mecanizados con precisión y alta calidad para equipos de procesamiento utilizados en la fabricación de semiconductores, incluidos implantación de iones, MOCVD, CVD y PVD.
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Descripción de productos

 

Proporcionamos componentes de molibdeno y tungsteno mecanizados con precisión y alta calidad para equipos de procesamiento utilizados en la fabricación de semiconductores, incluidos implantación de iones, MOCVD, CVD y PVD.

 

Nuestros productos principales incluyen cátodo, cámara de arco, repelente, placa lateral/extremo y sujetador en la fuente de iones del implantador Axcelis y Varian trabajados en el procesamiento de producción de obleas de 12" y 16".

 

El material de tungsteno para implantadores de iones se utiliza principalmente para preparar partes de la fuente de iones del implantador de iones. Es un material de tungsteno hecho de polvo de metal de tungsteno de alta pureza como materia prima, que se fabrica mediante pulvimetalurgia y luego se lamina o forja. Tiene las ventajas de alta densidad, alta dureza, presión de vapor extremadamente baja y excelente resistencia a altas temperaturas.

 

Especificación

 

Número de modelo

Repuestos para implantación de iones de tungsteno

Forma

Personalizado

Material

Molibdeno, tungsteno

Composición química

Miércoles, Lunes

Nombre del producto

Repuestos para implantación de iones de tungsteno

Material

Tungsteno/aleación de tungsteno

Pureza

99,95 % mínimo

Forma

Hecho según dibujos

Solicitud

implantación de iones

Densidad

10,2 g/cm3,19,2 g/cm3

Superficie

pulido

Certificado

ISO 9001 y ISO 14001

Otro nombre

parte de molibdeno

 

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