Los objetivos de pulverización catódica de aleaciones de níquel-cobalto-hierro contienen proporciones específicas de níquel (Ni), cobalto (Co) y hierro (Fe). Estas aleaciones se convierten en objetivos de pulverización catódica planos o giratorios y se utilizan en las industrias de semiconductores, fotovoltaica, óptica de precisión y recubrimientos funcionales. La preparación de estas aleaciones es específica y requiere atención al detalle para lograr una composición química uniforme, densidad en estado sólido-, granulación uniforme y calidad de las superficies.
Método de preparación de objetivos de pulverización catódica de aleación de níquel-cobalto-hierro
Fusión de materia prima: Los bloques de níquel, cobalto y hierro de alta pureza se dosifican y se colocan en el horno de fusión por inducción al vacío. Los materiales se calientan al vacío hasta que estén completamente fundidos y se agitan para evitar la segregación de la composición.
Fundición y conformación: una aleación fundida de níquel, cobalto y hierro se vierte en un molde de grafito y se enfría para obtener una palanquilla de aleación y evitar la formación de granos gruesos.
Forjado y laminado: las aleaciones se someten a procesos de forjado y laminado en caliente a alta-temperatura para descomponer la estructura de fundición.
Mecanizado y unión: el material de aleación de níquel-cobalto-hierro se corta con sierra-para darle forma y se sintetiza.
Usos de objetivos de pulverización catódica de aleación de níquel-cobalto-hierro
Circuitos Integrados, donde se utiliza para capas de barrera de difusión de Cu, electrodos bicapa de Ta/CoFe y capas libres de uniones de túnel magnético (MTJ).
Células solares de película-delgada, donde sirven como electrodo posterior o capa amortiguadora para mejorar el contacto óhmico y la durabilidad a la intemperie.
MEMS y sensores donde se utiliza en la fabricación de inductores de baja-pérdida, capas de blindaje magnético y actuadores micro-magnéticos.
Recubrimientos funcionales de superficies donde se utiliza como revestimiento decorativo-resistente al desgaste, a la corrosión-y para piezas de automóviles, sujetadores aeroespaciales e implantes biomédicos.
